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凯发k8国际专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

可拆卸的放电弧室专利查询|实用新型专利查询-凯发k8国际

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    cn200720076551.1
  • ipc分类号:h01j37/08;h01j37/317;h01l21/265
  • 申请日期:
    2007-11-08
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称
申请号cn200720076551.1申请日期2007-11-08
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号
?
ipc结构图谱:
    ipc分类号查看分类表>
    申请人申请人地址
    北京市经济技术开发区文昌大道18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
    权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
    发明人陈勇杉;何春雷;陈晓;潘升林
    代理机构代理人屈蘅;李时云
    摘要
    本实用新型提出了一种可拆卸的放电弧室,包括一主体,其具有一腔体,该腔体的底部具有一开孔;一底板,其可拆卸地安装在该腔体的底部上方,具有一与上述开孔相对应的注入孔;一前板,其可拆卸的竖直安装于该主板的前侧,其具有一微孔用于安装其它部件;一后板,其可拆卸地竖直安装于该主板的后侧;及两侧板,其可拆卸地竖直安装于该主体的两端。该放电弧室上的部件可拆卸并易于安装,得以灵活更换安装于其上的磨损部件,降低成本并且保证离子源长期工作的稳定可靠性。

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